カテゴリー : MEMS

X-FAB、貴金属対応MEMSプロセス専用施設が完成

独X-FAB Silicon Foundriesは6月13日、貴金属に対応するMEMSプロセス専用施設が完成したと発表した。本社工場のMEMSラインを拡張したもので、年間10万枚のウェーハ処理能力を有する。金薄膜の堆積とパターン形成が可能。MEMS単体およびMEMSとCMOSのインテグレーションなどを行う予定。また、10億個目のMEMSデバイスを出荷したことも発表している。

SCHOTT、MEMS向けに新しい極薄ガラスウェーハを投入

独SCHOTTは4月12日、MEMS向けに、従来製品より薄型で高品質の新しいホウケイ酸ガラス「MEMpax」を世界市場に投入すると発表した。MEMpaxの材質特性により、Siウェーハとの陽極結合が可能となる他、膨張係数がSiと同等なため膨張差による曲がりが発生しない。板厚は0.1~1.1mm。日本では、ショット日本を通じて販売する。


2011年のMEMS市場はスマートフォンとタブレットにより成長

2011年の民生用電子機器および携帯電話向けMEMS市場は前年比37%増の22億5000万ドルになる見込みと発表した。このうち、3軸ジャイロスコープは、昨年の1億2700万ドルから3.3倍の4億2000万ドルとなり、スマートフォンやタブレット端末、ゲーム機向け需要を背景に大きく伸長する見込み。用途別では、全体の約半数がスマートフォンを含む携帯電話向けで12億1000万ドルとなる模様。2015年の民生機器および携帯機器向けMEMS市場は45億4000万ドル、年平均成長率は22.5%と予測している。