X-FAB、貴金属対応MEMSプロセス専用施設が完成

独X-FAB Silicon Foundriesは6月13日、貴金属に対応するMEMSプロセス専用施設が完成したと発表した。本社工場のMEMSラインを拡張したもので、年間10万枚のウェーハ処理能力を有する。金薄膜の堆積とパターン形成が可能。MEMS単体およびMEMSとCMOSのインテグレーションなどを行う予定。また、10億個目のMEMSデバイスを出荷したことも発表している。

  1. コメントはまだありません。

  1. トラックバックはまだありません。