日立ハイテク、低加速電圧時の分解能を向上したSEMを発表

日立ハイテクノロジーズは5月11日、低加速電圧時における像分解能を向上させた走査型電子顕微鏡(SEM)「SU3500形」を発表した。電子光学系を一新し、2次電子像では加速電圧3kVで7nm、反射電子像では5kVで10nmの分解能を実現した。また、ナナオ、新潟大学、静岡大学と共同開発した「ライブステレオ観察機能」を搭載。これにより、試料を傾けることなく速い操作速度で3次元のSEM像を構築し、リアルタイムでの像観察が可能。標準価格は3150万円。年間200台の販売を見込んでいる。


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