SCHOTT、MEMS向けに新しい極薄ガラスウェーハを投入

独SCHOTTは4月12日、MEMS向けに、従来製品より薄型で高品質の新しいホウケイ酸ガラス「MEMpax」を世界市場に投入すると発表した。MEMpaxの材質特性により、Siウェーハとの陽極結合が可能となる他、膨張係数がSiと同等なため膨張差による曲がりが発生しない。板厚は0.1~1.1mm。日本では、ショット日本を通じて販売する。


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